1031_半導體製程_四技機械系三甲
Course Period:Now ~ 2015-10-04
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Course Intro
Course Plan
教學目標:本課程主要在講授半導體相關的重要製程技術,包括晶圓製造、微影、薄膜、離子佈植、蝕刻、物理及化學氣相沉積、化學機械研磨、DRAM製程…等;學生修畢本課程後,應可對半導體製程相關的技術有相當之瞭解。本課程的修習內容亦有助於學生將來任職於晶圓廠及光電廠,從事有關積體電路製造、封裝、LED、LCD及太陽能面板技術之工作,對學生的學習及未來工作均有很大的助益。
Textbooks
莊達人 VLSI製造技術 高立出版社 2005
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Ch1 introduction
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ch1-4.1作業解答
Teacher / 洪國永