1031_薄膜製程_四技材工系四甲
Course Period：Now ~ 2015-10-04
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Course Intro
Course Plan
教學目標：1.使學生了解不同薄膜製程之理論
2.使學生具備應用薄膜製程於高科技產業之能力。
3.使學生了解不同薄膜製程之應用及發展情形。
Textbooks
王建義編譯，薄膜工程學，初版，全華圖書，民國93年.
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明志科技大學-薄膜中心設備介紹
Teacher / 陳勝吉