1041_半導體製程_四技機械系三甲
上課期間:從 即日起 到 無限期
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課程介紹
課程安排
教學目標:本課程主要在講授半導體相關的重要製程技術,包括晶圓製造、微影、薄膜、離子佈植、蝕刻、物理及化學氣相沉積、化學機械研磨、DRAM製程…等;學生修畢本課程後,應可對半導體製程相關的技術有相當之瞭解。本課程的修習內容亦有助於學生將來任職於晶圓廠及光電廠,從事有關積體電路製造、封裝、LED、LCD及太陽能面板技術之工作,對學生的學習及未來工作均有很大的助益。
課本&教材
蕭宏 半導體製程技術導論(第三版) 全華圖書 2014
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課綱
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Introduction
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Clean room
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silicon wafer
教師 / 洪國永