1042_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上課期間：從 即日起 到 無限期
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課程介紹
課程安排
教學目標：薄膜是實踐電子元件輕薄短小之關鍵技術，本課程將介紹製備薄膜之相關技術及其分析方法。
課本&教材
1、薄膜科技與應用，羅吉宗，第四版，全華，2013
2、表面與薄膜處理技術，柯賢文，第三版，全華，2012
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CH1 真空系統與原理
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CH2 電漿原理
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CH3_表面動力學與薄膜成長機制
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CH4 電漿輔助化學氣相沉積
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CH5 電漿濺鍍
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CH6 薄膜蝕刻
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CH7 薄膜特性檢測技術與原理
教師 / 黃啟賢
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