1042_微系統製程與實驗_四技機械系四乙
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：從基礎微加工製程開始，詳述矽基與非矽基微加工製程技術，並探討微機電材料、尺度定律，介紹微結構與微感測器、微致動器等元件技術，以及相關檢測分析技術。最後則廣泛介紹微機電系統的應用，並以微機電系統的遠景及未來發展作為邁向奈米機電技術的跳板。除理論外，亦安排實作課程，讓學生學習可達到理論與實做整合之目標。
Textbooks
微機電系統技術與應用(上、下冊) 全華圖書
Teacher / 林宗鴻
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