1051_半導體製程_四技進修部材工系三甲
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课程介绍

课程安排

教學目標:本課成為針對半導體製程技術做一深入淺出的介紹。授課內容涵蓋積體電路製程介紹、半導體基礎、晶圓製造、微影製程、電漿製程等相關製程以及半導體製程發展趨勢。
 课本&教材
蕭宏、半導體製程技術導論、第三版、全華圖書、201408 (ISBN: 978-957-21-9575-8)
教师 / 黃薇臻

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