1052_奈米薄膜技術_四技進修部材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：1.使學生了解薄膜技術之基本原理外,也介紹最尖端技術與在產業上之應用領域。
2.使學生了解薄膜其基礎及原理、製作參數及實際之製作技術等。
3.使學生了解薄膜對半導體及各種資訊相關元件之高性能化、高積體化、輕量化之貢獻。
课本&教材
作者:王建義編
書名:薄膜工程學
出版社:全華, 2014, ISBN:9789572192764
教师 / 張奇龍
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