1052_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：薄膜是實踐電子元件輕薄短小之關鍵技術，本課程將介紹製備薄膜之相關技術及其分析方法。
Textbooks
1、薄膜科技與應用，羅吉宗，第四版，全華，2013
2、表面與薄膜處理技術，柯賢文，第三版，全華，2012
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CH0 課程簡介
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CH01 真空原理
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CH02 電漿原 理
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CH04 電漿濺鍍
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CH05 電漿輔助化學氣相沉積
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CH06 薄膜蝕刻
Teacher / 黃啟賢
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