1052_電漿製程_四技進修部材工系三甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：使學生了解真空、電漿、長膜機制，製作高品質薄膜的要件，薄膜品質之鑑定和薄膜製作技術如何改善電子元件功能等。
Textbooks
薄膜科技與應用(第四版)
作者： 羅吉宗
出版社：全華圖書 出版日期：2013/03/18 語言：繁體中文
ISBN：9789572188774
Teacher / 張奇龍
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