1072遠距教學-電漿與薄膜科技 課程大綱 授課教師：謝章興 博士 （教師介紹網址：http://mse.mcut.edu.tw/p/412-1043-551.php?Lang=zh-tw） Email: jhhsieh@mail.mcut.edu.tw; Tel: (02)2908-9899#4677; 辦公室: 綜301-7 本課程學分數：3學分，主要介紹電漿與薄膜科技及其相關應用，讓學生可以藉由本課程清楚瞭解到目前電漿與薄膜科技的發展技術及熱門的應用領域。課程採取及每週1.5小時同步遠距教學的方式並搭配測驗（共2次小考與作業）來進行。同步教學的部分，每週一晚上8：00-9：30分為線上討論課程，讓老師與學生有互動的機會。 每週教學大綱及教學目標如下： 第一週：電漿與薄膜科技簡介（教學目標：使學生瞭解何謂電漿與薄膜科技） 第二週：基礎電漿（教學目標：使學生瞭解目前何謂電漿及其分類） 第三週：冷電漿基礎（教學目標：使學生瞭解何謂冷電漿及其原理） 第四週：電漿化學（教學目標：使學生瞭解何謂電漿化學及其原理） 第五週：電漿應用(I)/小考I（教學目標：使學生瞭解電漿的應用性） 第六週：電漿應用(II)/實地參訪設備（教學目標：使學生瞭解電漿的應用性） 第七週：期中考(I) 第八週：電漿醫學（教學目標：使學生瞭解電漿運用在生醫領域之技術及其原理） 第九週：電漿醫學（教學目標：使學生瞭解電漿運用在生醫領域之技術及其原理） 第十週：薄膜製程（教學目標：使學生瞭解薄膜技術及其原理） 第十一週：薄膜製程（教學目標：使學生瞭解薄膜技術及其原理） 第十二週：表面改質/小考II（教學目標：使學生瞭解電漿表面改質技術及其原理） 第十三週：電漿製程I（教學目標：使學生瞭解電漿相關技術及製程） 第十四週：電漿製程II（教學目標：使學生瞭解電漿相關技術及製程） 第十五週：電漿製程III（教學目標：使學生瞭解電漿蝕刻之技術及其應用性） 第十六週：期中考(II) 第十七週：電漿製程IV（教學目標：使學生瞭解電漿相關技術及應用） 第十八週：期末考 遠距教學目標：讓學生學習到各種電漿與薄膜科技的熱門應用以及相關基礎電漿知識及實例介紹，並使學生瞭解目前電漿與薄膜科技的現況與趨勢。 評分方式：小考-10%，期中考-50%，期末考-30%，出席-10%