1071_電子材料_四技進修部材工系四甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：學習現今熱門的薄膜技術與基本量測手法.包含薄膜電性,物性與化性分析.介紹薄膜材料的種類與實際應用,本課程將有至少兩個實驗作業,讓學生學習各種薄膜材料的量測與理論對應,可為學生日後投入職場的重要資糧.
Textbooks
電子材料導論 鄭晃忠 台灣電子材料與元件協會編著 高立出版社 102年
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第一章 概論
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第二章 擴散模組
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第三章 薄膜模組
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第四章 微影模組
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第五章 蝕刻模組
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第六章 高介電係數製程與材料
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第七章 高介電係數材料應用
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第八章 應變矽製程與材料
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第九章 SOI製程與材料
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第十章 非揮發記憶體製程與材料
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第十一章 DRAM製程與材料
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第十二章 Logic製程與材料
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第十三章 3D積體電路製程與材料
Teacher / 阮弼群
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