教學目標：此課程是機械系學生未來從事薄膜(thin film)、模具業、工具業、刀具業與製造業等領域工作的重要基礎課程。固體材料的表面問題已發展成一非常多樣化的科技。本課程內容包括：表面製程的意義、表面製程的應用與分類、物理氣相沈積、化學氣相沈積、電漿之表面處理、刀具與工具之表面處以及模具表面處理技術。課堂上除了基礎表面製程學理講授外，亦準備與表面製程相關實事資料補充教學，以培養學生具有表面製程相關概念。