1081_薄膜製程_四技材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：
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薄膜製程-注意事項
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薄膜科技相關產業簡介
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薄膜材料科學與工程複習
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真空科技
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物理氣相沉積與薄膜濺鍍技術基本原理
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電鍍與無電鍍
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第一次作業(2019.11.7繳交)
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第二次作業(2019.11.7繳交)
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電漿、離子與試片交互作用
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第一次小考
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蒸鍍
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Chap-5 Plasma and Ion Beam Processing of Thin Films
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薄膜材料分析
教师 / 李志偉
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