1091_薄膜製程_四技材工系四甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：
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課程介紹
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薄膜材料科學簡介
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真空原理
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第一次作業，請於10月6日繳交
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Chap-2 物理氣相沉積(PVD)、蒸鍍與濺鍍技術基本原理
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薄膜製程期中考試重點提示
Teacher / 李志偉
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