2020spring_Optoelectronics & Semiconductor Materials_Department of Materials Engineering 4 A
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：
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第一章 概論
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第二章 擴散模組
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第三章 薄膜模組
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第四章 微影模組
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第五章 蝕刻模組
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第六章 高介電係數製程與材料
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第七章 高介電係數材料應用
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第八章 應變矽製程與材料
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第九章 SOI製程與材料
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第十章 非揮發記憶體製程與材料
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第十一章 DRAM製程與材料
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第十二章 Logic製程與材料
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第十三章 3D積體電路製程與材料
Teacher / 阮弼群
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