2021fall_109summerVLSI Technology_Department of Materials Engineering 3 A4 S
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：
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第一章 簡介
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第二章 半導體材料簡介
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第三章 半導體元件簡介
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第四章 矽晶圓製備
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第五章 晶圓製造化學材料
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第六章 晶圓製造汙染控制
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第七章 量測與缺陷
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第八章 晶圓製造設備簡介
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第九章 IC製程概述
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第十章 Oxidation 製程
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第十一章 Thin Film 製程-氧化層
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第十二章 Thin Film 製程-金屬層
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第十三章 Photo 製程一
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第十四章 Photo 製程二
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第十五章 Photo 製程三
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第十六章 Etch 製程
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第十七章 Ion Implantation 製程
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第十八章 CMP 製程
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開學注意事項
Teacher / 阮弼群
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