2021spring_Semiconductor Testing_Department of Electronic Engineering 4 A
Course Period:Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標:本課程介紹半導體元件製作與測試之課程,從積體電路介紹與歷史展望、晶體成長、晶圓製造與矽晶圓的基本性質、積體電路製程技術、以及測試方法介紹。課程中並安排分組實作與討論,使學生能對半導體測試技術有基本的整體概念。
Textbooks
自編教材及半導體製程技術導論(第三版),蕭宏,全華書局,2014
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半導體基礎回顧
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科學園區介紹
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測試技術-應用繞射技術
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測試技術-應用X光螢光與透射技術
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測試技術-應用電子顯微鏡技術
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測試技術-掃描探針顯微分析技術
Teacher / 鄭信民