1121_薄膜製程實驗_四技材工系四甲
上課期間:從 即日起 到 無限期
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課程介紹
課程安排
教學目標:1.使學生具備各種薄膜之製作技術 2.使學生了解各種薄膜之基本特性 3.使學生養成薄膜製程工程師之專業態度 4.使學生了解各種薄膜之應用及發展情形
課本&教材
自編教材(講義授課)
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Bi2Te3 簡介
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MoO3 簡介
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ppt-薄膜製程講義-1
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ppt-薄膜製程講義-2
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ppt-薄膜製程講義-3
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ppt-薄膜製程講義-4
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ppt-薄膜製程講義-5
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ppt-薄膜製程講義-6
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ppt-薄膜製程講義-7
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ppt-薄膜製程講義-8
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MoO3 data第一組
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BiTe data-A
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實驗報告格式
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BiTe薄膜製程實驗 Data-B
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MoO3 data第二組
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CVD 製程原理與簡介
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ALD 製程原理與簡介
教師 / 陳勝吉
教師 / 阮弼群