1131_薄膜製程_四技材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：1)各種薄膜製造技術(包括真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沉積、物理氣相沉積、磊晶技術、電化學與化學法)
(2)真空技術
(3)放電現象
(4)電漿原理
(5)離子與試片表面之交互反應
(6)薄膜成核與薄膜結構
(7)薄膜特性分析與機械性質測試方法
(8)各種薄膜應用實例介紹
课本&教材
作者: Milton Ohring
書名:Materials Science of Thin films-Deposition & Structure (2002)
出版社: Academic Press
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課程注意事項
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Chap. 1 薄膜材料科學
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Chap. 2 Vacuum Technology
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電鍍、無電鍍
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History of Thin Film
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Chap-3 Thin-Film Evaporation Processes
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物理氣相沉積(PVD)-蒸鍍-濺鍍技術基本原理
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「薄膜製程」第一次作業
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「薄膜製程」第二次作業
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sputter
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Arc
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期末作業
教师 / 李志偉
教师 / 張奇龍
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