1131_電漿製程_四技材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：本課程將介紹電漿製程的基本理論與實務操作，瞭解電漿技術在科學研究、工業和環境保護中的應用，使學生具備能夠設計、操作和分析基本的電漿製程。
课本&教材
楊子明, 鍾昌貴, 沈志彥, 李美儀, 吳鴻佑及詹家瑋, 半導體製程設備技術, 五南圖書, 2024
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電漿製程-CH1
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電漿製程-CH2
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電漿製程-CH3
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電漿製程-CH4
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期中考_20241108試卷-答案
教师 / 黃詩翰
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