1142_薄膜製程_四技材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：希望學生對材料表面改質的方法及應用有多方面的認知(乾與濕製程)
课本&教材
柯賢文,表面與薄膜處理技術,修訂版,全華圖書,2008二版
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半導體薄膜材料與製程(九)
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半導體薄膜材料與製程(七)
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應用於3C產業之VM技術及機愷
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0555401-9
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金屬材料之表面改質
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114子四表面第一次作業
教师 / 彭坤增
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