1032_奈米薄膜技術_四技材工系四甲
上課期間：從 即日起 到 無限期
LINE分享功能只支援行動裝置
課程介紹
課程安排
教學目標：讓學生學習到各種奈米薄膜製造技術與表面處理技術(包含真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沈積(CVD)、物理氣象沈積(PVD)、磊晶技術）以及奈米薄膜特性分析與應用實例介紹。
課本&教材
1.表面與薄膜處理技術，第三版，柯賢文，全華圖書
2.自製講義
-
Section 1-奈米薄膜技術簡介
-
Section 2-奈米薄膜的表面特性
-
HW1-奈米薄膜技術
-
Section 3-電漿技術
-
Section 4-物理蒸鍍
-
Section 5-濺射鍍膜
-
Section 6-化學氣相蒸鍍
-
Section 7-Atomic Layer Deposition
教師 / 劉定宇
相關課程
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|