1032_奈米薄膜技術_四技材工系四甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：讓學生學習到各種奈米薄膜製造技術與表面處理技術(包含真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沈積(CVD)、物理氣象沈積(PVD)、磊晶技術）以及奈米薄膜特性分析與應用實例介紹。
Textbooks
1.表面與薄膜處理技術，第三版，柯賢文，全華圖書
2.自製講義
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Section 1-奈米薄膜技術簡介
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Section 2-奈米薄膜的表面特性
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HW1-奈米薄膜技術
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Section 3-電漿技術
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Section 4-物理蒸鍍
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Section 5-濺射鍍膜
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Section 6-化學氣相蒸鍍
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Section 7-Atomic Layer Deposition
Teacher / 劉定宇
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