1032_半導體製程_四技進修部材工系四甲
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Course Intro

Course Plan

教學目標:講授半導體製作之製程技術,包括晶圓製造、加熱、微影、離子佈植、蝕刻、物理及化學氣相沉積、金屬化、化學機械研磨等;學生修畢本課程後,可對半導體製程相關的技術有詳盡之瞭解,為往後在相關課程的學習上打下基礎。另外,本課程的修習內容亦有助於學生將來任職於晶圓廠、積體電路製造、封裝、IC設計工司、面板廠的工作,對學生在往後的學習及未來之工作均有很大的助益。
 Textbooks
作者:蕭宏。 書名:半導體製程技術導論。 版別:3。 出版商:全華圖書股份有限公司。 發行地:台灣。出版年份2014年。
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