1032_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：1)各種薄膜製造技術(包括真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沉積、物理氣相沉積、磊晶技術等)
(2)真空技術
(3)放電現象
(4)電漿原理
(5)離子與試片表面之交互反應
(6)薄膜成核與薄膜結構
(7)薄膜特性分析與機械性質測試方法
(8)各種薄膜應用實例介紹
课本&教材
作者: Milton Ohring
書名:Materials Science of Thin films-Deposition & Structure (2002)
出版社: Academic Press
教师 / 李志偉
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