1032_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
Course Period：Now ~ Any Time
LINE sharing feature only supports mobile devices
Course Intro
Course Plan
教學目標：1)各種薄膜製造技術(包括真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沉積、物理氣相沉積、磊晶技術等)
(2)真空技術
(3)放電現象
(4)電漿原理
(5)離子與試片表面之交互反應
(6)薄膜成核與薄膜結構
(7)薄膜特性分析與機械性質測試方法
(8)各種薄膜應用實例介紹
Textbooks
作者: Milton Ohring
書名:Materials Science of Thin films-Deposition & Structure (2002)
出版社: Academic Press
Teacher / 李志偉
Related Courses
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|