1042_奈米薄膜技術_四技材工系四甲
上课期间:从 即日起 到 无限期
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课程介绍

课程安排

教學目標:讓學生學習到各種奈米薄膜製造技術與表面處理技術(包含真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沈積(CVD)、物理氣象沈積(PVD)、磊晶技術)以及奈米薄膜特性分析與應用實例介紹。
 课本&教材
1.表面與薄膜處理技術,第三版,柯賢文,全華圖書 2.自製講義
教师 / 劉定宇

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