1042_奈米薄膜技術_四技材工系四甲
Course Period：Now ~ Any Time
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Course Intro
Course Plan
教學目標：讓學生學習到各種奈米薄膜製造技術與表面處理技術(包含真空蒸鍍、電漿與離子束製程、化學氣相沈積(CVD)、物理氣象沈積(PVD)、磊晶技術）以及奈米薄膜特性分析與應用實例介紹。
Textbooks
1.表面與薄膜處理技術，第三版，柯賢文，全華圖書
2.自製講義
Teacher / 劉定宇
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