1071_薄膜製程_四技材工系四甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：1.各種真空薄膜製備方法之知識與基本運用能力；
2.創新創業新思考模式之啟發與概念運用之能力；
3.廠務規劃、財務結構與營運模式之知識與能力；
4.小組團隊合作企劃之精神與溝通協調能力；
5.產業領域之現況與發展之了解與素養。
课本&教材
自行編纂講義
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上課注意事項
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薄膜科技相關產業簡介
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電漿基礎
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薄膜製程作業(請於108年1月10日繳交)
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Chap-3 Thin-Film Evaporation Processes
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Chap-5 Plasma and Ion Beam Processing of Thin Films
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Chap-6 CVD
教师 / 李志偉
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