1071_薄膜製程_四技材工系四甲
Course Period:Now ~ Any Time
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Course Intro

Course Plan

教學目標:1.各種真空薄膜製備方法之知識與基本運用能力; 2.創新創業新思考模式之啟發與概念運用之能力; 3.廠務規劃、財務結構與營運模式之知識與能力; 4.小組團隊合作企劃之精神與溝通協調能力; 5.產業領域之現況與發展之了解與素養。
 Textbooks
自行編纂講義
  • 上課注意事項
  • 薄膜科技相關產業簡介
  • 電漿基礎
  • 薄膜製程作業(請於108年1月10日繳交)
  • Chap-3 Thin-Film Evaporation Processes
  • Chap-5 Plasma and Ion Beam Processing of Thin Films
  • Chap-6 CVD
Teacher / 李志偉

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