1072_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上課期間：從 即日起 到 無限期
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課程介紹
課程安排
教學目標：薄膜是實踐電子元件輕薄短小之關鍵技術，本課程將介紹製備薄膜之相關技術及其分析方法。後半段之課程，讓同學進入實驗室進行實作。
課本&教材
1、薄膜科技與應用，羅吉宗，第四版，全華，2013
2、表面與薄膜處理技術，柯賢文，第三版，全華，2012
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CH0 課程簡介
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CH01 真空原理 I
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CH01 真空原理 II
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CH01 真空原理 III
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CH02 電漿原理
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CH03 化學氣相沉積
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CH04 電漿濺鍍
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CH05 薄膜蝕刻 I
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CH05 薄膜蝕刻 II
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海報格式
教師 / 黃啟賢
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