1072_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
Course Period：Now ~ Any Time
LINE sharing feature only supports mobile devices
Course Intro
Course Plan
教學目標：薄膜是實踐電子元件輕薄短小之關鍵技術，本課程將介紹製備薄膜之相關技術及其分析方法。後半段之課程，讓同學進入實驗室進行實作。
Textbooks
1、薄膜科技與應用，羅吉宗，第四版，全華，2013
2、表面與薄膜處理技術，柯賢文，第三版，全華，2012
-
CH0 課程簡介
-
CH01 真空原理 I
-
CH01 真空原理 II
-
CH01 真空原理 III
-
CH02 電漿原理
-
CH03 化學氣相沉積
-
CH04 電漿濺鍍
-
CH05 薄膜蝕刻 I
-
CH05 薄膜蝕刻 II
-
海報格式
Teacher / 黃啟賢
Related Courses
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|