1091_電漿製程_四技材工系四甲
上課期間：從 即日起 到 無限期
LINE分享功能只支援行動裝置
課程介紹
課程安排
教學目標：
-
ch1_真空原理
-
ch2_電漿原理
-
ch3_電漿輔助化學氣相沉積
-
ch4_電漿濺鍍
-
ch5_電漿蝕刻
-
ch6_電漿損傷
-
ch7_低損傷電漿製程
-
ch8_電漿診斷
-
Chap8_化學氣相沉積
-
Intro to sputtering (process to create clear, conductive coatings)
教師 / 陳政營
相關課程
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|
|
|
||||||
|