2021spring_Semiconductor Process_Department of Mechanical Engineering 3 A
Course Period:Now ~ Any Time
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Course Intro

Course Plan

教學目標:本課程主要在講授半導體相關的重要製程技術,包括晶圓製造、微影、薄膜、離子佈植、蝕刻、物理及化學氣相沉積、化學機械研磨、DRAM製程…等;學生修畢本課程後,應可對半導體製程相關的技術有相當之瞭解。本課程的修習內容亦有助於學生將來任職於晶圓廠及光電廠,從事有關積體電路製造、封裝、LED、LCD及太陽能面板技術之工作,對學生的學習及未來工作均有很大的助益。
 Textbooks
蕭宏 半導體製程技術導論(第三版) 全華圖書 2014
  • 課程大綱
  • 半導體製程(第一次面授)-20210810_195806-會議錄製修剪版
  • 01-1 ch1 introduction
  • 02 Ch2 clean room and wafer clean
  • 03 ch4 Silicon wafer
  • 04 Ch7 Plasma
  • 05 Ch 11 PVD
  • 06 CH10 CVD
  • 07 Ch6 Lithography 微影
  • 08 Ch9 etching
  • 09 CH8 DOPING
  • 10 ch5 氧化與熱處理
  • 11 CMP
  • 12 ch14_IC製程技術
  • 作業解答區
  • 課程大綱line
Teacher / 洪國永
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