1112_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：本課程讓同學在課程前半段掌握對真空、電漿以及薄膜生長等等沉積薄膜技術必備之基礎概念及理論，進而認識多種常見之鍍膜手段以及其工業應用；後半段則以專題方式給予同學實際操作的第一手經驗。
课本&教材
薄膜科技與應用(第五版) 羅吉宗2017
教师 / 姚栢文
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