教學目標：在奈米科技的製造、操控、量測、應用四大主軸中，本課程著重在奈米檢測。首先以實務的真空技術、質譜技術、內層電子能譜辨識、薄膜光學理論應用、以及半導體接面特性，奠基奈米科技的檢測基礎學理；透過奈米檢測設備介紹與結構、成份、功能特性的分析技術學習，幫助學生對奈米材料特殊性質的操控及產業應用機會的認識，同時藉由複層光學薄膜與薄膜半導體接面的專題檢測分析，進行更深入的設計應用探討。