1092_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上課期間:從 即日起 到 無限期
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課程介紹

課程安排

教學目標:
  • FePt合金薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
  • CuxO氧化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
  • NiO氧化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
  • Cu3N氮化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
  • Epitaxy Structure
  • Film Structure
  • Film Formation
  • Zn-Sb合金薄膜的顯微結構與電性質
  • 2021 03 05 ALD ALE Introduction & Their Application
教師 / 陳勝吉

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