1092_薄膜製程_四技進修部材工系三甲
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
教學目標：
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FePt合金薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
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CuxO氧化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
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NiO氧化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
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Cu3N氮化物薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及光電元件應用
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Epitaxy Structure
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Film Structure
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Film Formation
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Zn-Sb合金薄膜的顯微結構與電性質
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2021 03 05 ALD ALE Introduction & Their Application
教师 / 陳勝吉
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